〜羽根車の加工〜
最近,マイクロマシンに関する研究が大きな関心を呼んでいるが,研究を進める 上でその要素技術である微細加工技術(マイクロマシニング)が占める重要性は 大きい.現在行われているマイクロマシニングは,リソグラフィ,エッチング技術 などの半導体製造技術を応j用したものと,切削,研削,放電加工などの従来からの 機械加工技術の応用の2つに大別できる.前者は高さ方向の加工や被削材につい て制限がある.また後者においても研削や放電加工では生産性はよいが滑らか な面を得るのは難しい．そこで,本研究では,マイクロ部品の加工方法としてこ れらの中でも生産性がよく加工の自由度の高い切削加工に注目した.しかし， 従来の超精密切削加工技術では物体の表面の高精度加工は達成されているが， 部品が削り出されている例は少ない．しかも，その大部分は旋盤加工によるも のである．このような現状を踏まえて，超精密加工機上で単結晶ダイヤ モンドバイトを用いてフライス加工を行ない,直径3mmの羽根車を製 作した. この形状は外径 3.0 mm 、高低差 0.7 mm 、羽根の厚さ 0.15 mm 、羽根部の最大傾斜 20°となっている。
実験の結果要求した形状と良好な表面性状を得ることができ、微小部品加工の可能性を確認した。
[竹内研ホームページへ]
1996/10/26, by N.Asakawa