本書は、超精密サーボの着想とそれを基にした超精密加工機の開発、マイク ロ部品の超精密加工などを述べたもので、 ファナック（株）基礎技術研究所と電気通信大学機械制御工学科竹内研究 室との過去７年間に渡る「超精密マイクロ加工の共同研究」の成果をまとめた ものです。ご関心のある方には何かのお役に立てると考えています。
http://www.takeuchi.mce.uec.ac.jp/