超精密マイクロマシニング関連

• 旋盤形超精密フライス加工機による自由曲面のマイクロマシニング
• クローズド構造をもつ超精密加工機の試作とその制御
• 超精密フライス加工による３次元マイクロマシニングの高度化
• 超精密フライス加工機による微小部品加工の試み
• 回転する主軸の軸方向変位の非接触計測の試み
• 超精密フライス加工による三次元マイクロマシニングの高度化 （第２報、工具系の高精度化）
• 超精密マイクロ溝加工の研究 （Ｖ形状格子溝の製作）
• マイクロ溝加工技術を用いたフレネルレンズ金型加工
• マイクロＶ溝を利用した微小部品の直接接合
• 非回転工具を用いた超精密マイクロ溝の創成
• 理想的断面をもつ非球面凸フレネルレンズの製作
• マイクロＶ溝を利用した微小部品の直接接合 −２方向溝を用いた高精度位置決め−

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